产品应用：
该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、
快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验
产品特点：
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度高,zui大升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。
产品参数：
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产品名称
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RTP-小型快速退火炉
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产品型号
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RTP-G11103-K
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额定功率
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9KW
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额定电压
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220AC 50/60Hz
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zui高温度
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1000°C
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连续工作
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950°C(<1 小时)
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加热区长度
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300mm
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恒温区长度
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100mm
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加热元件
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红外灯管
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温度控制
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国产程序控温系统可编程50段程序控温；
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控制精度
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±1℃
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石英管尺寸
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Φ110*380MM
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炉管材质
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石英管
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滑动距离
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355mm
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滑动方式
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手动滑动
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建议升温速度
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室温900℃：30℃/sec
900℃~1000℃： 10℃/sec
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外形尺寸
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950 X 350 X 530 mm
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重量
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45Kg
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标准配置
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气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。
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产品名称
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RTP-小型快速退火炉
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产品型号
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RTP-G11103-K
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额定功率
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9KW
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